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    TA4030F-01-03_3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

    TA4030F-01-03_3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人
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    TA4030F-01-03_3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

    TA4030F-01-03_3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人,自主研发安全可控,可全面替代进口品牌。

    产品描述


    3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人
    TA4030F-01-03_TA系列半导体机器人
     
    • ● 采用闭环伺服控制
    • ● 可选配免电池绝对式编码器
    • ● 可根据设备布局定制底座和伸展轴行程
    • ● 末端执⾏器类型:下托式

    臂长

    200/260/320/400mm

      额定/最大负载

     3kg

    搬运物

    ≤Φ300mm晶圆

    918博天堂众为兴TA4030F-01-03_3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

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    918博天堂众为兴TA4030F-01-03_3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

    规格参数

    918博天堂众为兴TA4030F-01-03_3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人


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